性能無疑是評估光譜儀非常重要的指標。性能優異的進口X射線熒光光譜儀做篩選檢測能準確無誤地排查合格和不合格，并將不確定的灰色部分壓縮到zui小；有的光譜儀鉛砷不分、鎘的特征譜線與X光管銠電極的特征譜線重疊等。經常誤判；有的光譜儀檢測鎘的靈敏度不夠高，不能準確判定鎘；大部分光譜儀的檢測穩定性受到X光管老化、環境溫度、電源波動等影響，使數值不準。由于性能不足，可能發生錯判、誤判、無法判定等事件頻發，不確定的灰色部分比例大增。其后果必然是成本顯著提高、風險增加。有的光譜儀X射線漏泄嚴重，危及操作者安全。更不可取。

    下面介紹的幾個關鍵性能

1、X光管的電極材料

   目前X線熒光光譜儀基本上采用銠靶X光管，個別有鎢靶X光管的。
①銠（Rh）靶：銠的特征譜線與鎘的特征譜線重疊；銠電極發射強度不夠高，對于鎘的篩選排查不勝任。
②鎢（W）靶：鎢的特征譜線遠離RoHS的5種元素特征譜線，無譜線重疊；發射強度高，能提高元素檢測下限值。

2、檢測器

①SDD：新型的SDD檢測器屬高純硅檢測器，穩定性好，檢測靈敏度高。
②SSD：老款的SSD檢測器屬硅鋰檢測器，漂移大，檢測靈敏度低。

3、檢測方法和軟件

①FP法、部分檢量線法：穩定性差。
②帶補正的相對檢量線法：可以自動補償環境條件變化、X光管老化、供電變化等對檢測數據的影響。

4、X線束光斑直徑

①光斑直徑大小在使用中會體現出一些差別。目前光斑直徑從0.1mm到15mm不等。光斑小不受試樣面積限制，光斑大受材料不均勻性影響小。
②光斑大小間接反映X光束的能效。大光斑（幾mm到十幾mm）通常采用準直器整理光束，被遮擋部分白白浪費掉；1mm以下小光斑采用導管整理光束，能量損失較少。
③光斑大小根據實際測量需要選擇，光束能量損失通常制造商在軟件、濾光片等方面做適當補償。