特征X射(she)線(xian)(xian)及(ji)其衍射(she)X射(she)線(xian)(xian)是一種波(bo)長（0.06-20nm）很短(duan)的(de)電磁(ci)波(bo)，能(neng)穿透一定厚度的(de)物質(zhi)，并(bing)能(neng)使熒(ying)光(guang)物質(zhi)發光(guang)、照相機乳膠(jiao)感光(guang)、氣體電離。用高能(neng)電子束轟(hong)擊金屬靶產生X射(she)線(xian)(xian)，它(ta)具有靶中元素相對應的(de)特定波(bo)長，稱為特征X射(she)線(xian)(xian)。如銅(tong)靶對應的(de)X射(she)線(xian)(xian)波(bo)長為0.154056 nm。

X'Pert PRO MRD/XL高分辯衍射儀是(shi)半導體(ti)(ti)材料(liao)的(de)標準裝備，用(yong)(yong)(yong)于： 材料(liao)科學和(he)(he)納米技術(shu)，半導體(ti)(ti)材料(liao)研究和(he)(he)生產(chan)質量控(kong)制，可以適(shi)用(yong)(yong)(yong)各(ge)種應(ying)用(yong)(yong)(yong)，尤(you)其適(shi)合薄膜(mo)分(fen)析(xi)，例如(ru)： 搖擺曲線分(fen)析(xi)和(he)(he)倒易空(kong)間Mapping， 反射率和(he)(he)薄膜(mo)相分(fen)析(xi)，殘余(yu)應(ying)力(li)和(he)(he)織構(gou)分(fen)析(xi)， X'Pert PRO MRD/ XL 滿(man)足(zu)半導體(ti)(ti)、LED、薄膜(mo)和(he)(he)工業材料(liao)的(de)所有高分(fen)辨XRD分(fen)析(xi)需要。XL可以滿(man)足(zu)直徑達(da) 300 mm的(de)晶片分(fen)析(xi)，并(bing)有精密的(de)自動(dong)晶片裝載(zai)選擇；XL成為(wei)薄膜(mo)生產(chan)發(fa)展的(de)的(de)分(fen)析(xi)手(shou)段，LED的(de)業界標準。

X'Pert PRO MRD/XL高分辯衍射儀技術參數：

1，功率：3kW
2，測角儀重現性：0.0001度
3，測角儀類型：T-2T
4，五維樣品臺